国内某半导体企业 晶圆盒搬运及上下料

该项目物料为晶圆放置在晶圆盒中,AMR需按照工艺流程配送至各个机台加工;需要关联客户MES系统,物料配送请求通过MES发送,呼叫AMR将晶圆盒搬运至对应机台;为了缓解加工瓶颈,规划立体料架将加工物料进行储存及库位管理,实现动态智能配送。
面临挑战
无尘车间,车间机台多,需要实现精准配送,对配送错误0容忍;
车间有较多悬空凸出物体,需要避免碰撞;
晶圆易碎,搬运过程需要减震处理。
面临挑战
解决方案
使用Oasis600UL复合机器人,由FMS调度系统系统连接工厂的MES和WMS系统, 自动将物料送到对应的需料机台
硬件:2台Oasis600UL复合机器人、8台Oasis600UL+定制智能料架、1台服务器、1套网络方案;
软件:Matrix部署软件、FMS调度管理系统、中控系统。
项目成效
减员增效
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产线5S提升
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自动化布局
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